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科里奥利质量流量控制器
品质铸就信任 创新引领未来
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产品分类

气体流量测控

气体流量测控

气体质量流量控制器由质量流量传感器、层流分层件、流量控制器调节阀和放大控制电路等部件组成。它利用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。精度有±1%和±0.5%两种，宽量程比，足以满足大部分客户的需求，既 可应用于实验室做各类试验，也可应用境复杂的工 业环境中。

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液体流量测控

液体流量测控

差压式和科里奥利式

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压力控制器

压力控制器

压力控制

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气液蒸发控制系统

气液蒸发控制系统

气液蒸发混合

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定制产品

定制产品

协议定制，材质定制

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显示仪及控制系统

显示仪及控制系统

显示及配套系统

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解决方案

半导体与微电子制造

半导体与微电子制造

在半导体与微电子制造中，MFC质量流量控制器是确保工艺精度和一致性的核心设备。精量科技MFC的高精度及快速响应满足大部分工艺要求。

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服务支持

秉持 “客户至上” 理念，我们的服务支持团队全年无休，确保您的每一个问题都能在优先时间得到精准解答与妥善处理。

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