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在半导体与微电子制造中,MFC质量流量控制器是确保工艺精度和一致性的核心设备。精量科技MFC的高精度及快速响应满足大部分工艺要求。
在光伏(太阳能)行业的生产过程中,气相沉积、刻蚀和掺杂等工艺对气体流量的精确控制要求极高,精量科技生产的MFC具有高精度以及高重复性等优点对保证太阳能电池的转换效率提供保证。
高精度及支持多种通讯协议确保气体流量稳定,提高数据的可靠性及采样过程的便捷性。
控制氢气、氧气等反应气体流量,提升电池性能。
多参数输出、无响应滞后等特点可实现实时监控反应物配比,优化生产效率。
化工与石油化工
更高的防护等级可适用复杂的工业环境,高精度流量控制可保证工艺稳定性。
实时控制、监测燃料或氧化剂流量,优化燃烧效率。
纳米材料合成、超导材料应用越来越广泛,精量科技生产的MFC高精度和宽量程比的特点可精确控制前驱体气体流量,实现材料性能调控。