应用简介
在半导体与微电子制造中，MFC质量流量控制器是确保工艺精度和一致性的核心设备。精量科技MFC的高精度及快速响应满足大部分工艺要求。
应用场景
晶圆加工、刻蚀、化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、离子注入、超纯化学品(光刻胶、蚀刻液)输送、CMP浆料控制等。
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