光伏与太阳能电池

2025-03-27

字号

光伏与太阳能电池

应用简介

在光伏(太阳能)行业的生产过程中,气相沉积、刻蚀和掺杂等工艺对气体流量的精确控制要求极高,精量科技生产的MFC具有高精度以及高重复性等优点对保证太阳能电池的转换效率提供保证。

应用场景

硅片镀膜、薄膜太阳能电池生产(如CdTe、CIGS)。

推荐产品

ACU10L系列


ACU10L系列数字式液体流量控制器/流量计,可快速精确测量过程液体的体积流量/质量流量;ACU10LC系列液体流量控制器,采用定制的高速比例控制阀对液体体积流量/质量流量进行精确控制。

ACU20L系列


ACU20L为高精度系列液体流量控制器/流量计,该系列产品采用无热漂移无响应滞后的差压质量测量原理,可以同时显示和输出:瞬时流量、累计流量、压力、温度等。当需要控制功能时,还可以加装电磁比 例调节阀和内置PID调节功能。

ACU10FA系列


ACU10FA模拟型质量流量控制器响应快,精度高。控制范围广,量程范围为5SCCM~30SLM,最小可以测量调节1SCCM的流量,可用于非常小的流量的控制。

上一页

下一页

上一页:

下一页: