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ACU20FP

ACU20FP

在制造薄膜材料过程中，传统的液体输送方法存在固体前驱体溶解度限制的问题，导致无法输送足够的材 料，从而影响生产效率。ACU20FP低蒸气压质量流量控制器，专为薄膜工艺而设计，能够精确控制固体前驱 体输送到化学气相沉积(CVD)反应器。

所属分类：

压力控制器

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产品描述

  • 产品描述

  • 一、产品概述

    ACU20FP采用了先进的压力测量和控制技术，能够精确控制固体前驱体的输送流量，确保沉积过程的稳定性和一致性，从而获得高质量的薄膜材料。此外，ACU20FP拥有多种控制方式和连接接口以满足多样化需求。

    二、产品应用

    半导体高校实验室真空镀膜光电材料
    太阳能化学品制造航空航天汽车行业

    三、产品参数

    量程范围10SCCM～250SCCM
    测控范围阀控范围50:1
    准确度±1%F.S
    线性±0.1%F.S
    重复精度±0.2%F.S
    温度系数±0.02%F.S/℃
    响应时间 
    流量控制器：<2s
    数字量profibus协议
    模拟量0～5V、4-20mA、1～5V
    供电±15VDC，24VDC
    工作温度0～50℃
    工作压力工作压降：<0.01Mpa
    最大耐压3MPa/10MPa
    电气连接DB9孔
    漏率1×10-9Pa m3/S
    温度系数±0.025%F.S/℃
    底座材质不锈钢
    密封材质氟橡胶，氯丁橡胶，丁腈橡胶
    接头φ3，φ6，1/8"，1/4"

    四、产品尺寸

    ACU20FP尺寸图

    五、可选配套测控软件 （另外收取费用）

    质量流量测控系统V5.0

关键词：

气体流量测控

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