压力控制器
ACCU压力控制器采用先进的压电膜片式压力传感器与数字化电路设计，确保压力测量与控制的精度、稳定性和可靠性。其核心传感元件采用硅基压敏电阻桥结构，通过精密加工的硅芯片背面蚀刻形成超薄压力敏感膜片，膜片厚度精确匹配不同量程需求。当外界压力作用于膜片时，其形变引起惠斯通电桥阻值变化，从而输出高线性度的压力信号。 ACCU双阀压力控制器创新集成进气和泄压双电磁阀结构，实现动态闭环控制。进气阀精准调节过程气体输入，维持腔体设定压力；当压力超限时，泄压阀迅速响应，自动开启释放多余压力。该设计大幅提升压力控制的响应速度与稳定性，确保系统在复杂工况下仍能保持精准、可靠的压力调节。
量程范围：10KPa-10MPa
量程范围：10SCCM～250SCCM
联系方式
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